散布装置とは、各種液晶パネルのセル		当社の洗浄ツールは、弊社独自に設計
ギャップを形成する為に、定められた		製造した高圧ポンプユニットから発生
個数のスペーサを基板上に均一に散布		する３〜７ＭＰａの高圧水に、超高速
する装置です。従来の散布装置の経験		閉開機能を有するスプレー部（ＤＰ−
と技術・・・　　　　　　続きはコチラ		ＧＵＮ）に・・・　　　　続きはコチラ
ラインイオナイザーとは、線状電極方		当社の検査装置は、お客様のニーズに
式で切れ目のない直線の放電を行い、		合わせた構成にカスタマイズしており
プラスとマイナスのイオンを交互に発		ます。対象ワークはウェハー・ガラス・
生させて静電気除去を行うバーです。		マスク等で、検出物は異物・欠陥・傷・
本製品は・・・　　　　　続きはコチラ		パターン・・・　　　　　続きはコチラ