オリジナルの超高速画像処理ボードを搭載し最速で640MHzでの画像処理を行います。

ウェハー上の1μ以下の小さな異物検出からパターン付きの液晶用大型ガラスの全面

検査、低コスト仕様から高スペック仕様まで、ご要望に応じて様々な検査に対応します。

ユーザーインターフェースのカスタマイズ、検査結果の処理プログラムも追加可能で

ユーザーの手間とトータルコストを削減します。

対象：ガラス・ウェハー・マスク・その他

検出：異物・パターン・欠陥・キズ等

検出サイズ：１μ以上（仕様により０．５μ以上可能）

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